HAPCO · CMP MEMBRANE

보이지 않는 곳까지
정밀하게.

웨이퍼에 닿는 면은 매끈한 실리콘 막입니다. 그 안쪽에는 압력을 나누는 존 구조가 있습니다. 빛을 비추면 드러납니다.

01 · 웨이퍼 쪽 면

매끈한 한 장의 막.

웨이퍼에 직접 닿는 면입니다. 두께와 표면이 고르지 않으면 압력도 고르게 전해지지 않습니다.

HAPCO CMP 멤브레인 제품 사진
DETAIL ACMP 멤브레인 · 내부 존 생략

HEAD 모델과 도면에 맞춘
멤브레인 제작.

CMP HEAD와 WAFER 사이에서 공기압을 웨이퍼에 균일하게 전달하는 핵심 소모성 부품입니다. 장비와 HEAD 모델, 도면을 바탕으로 제작 사양을 함께 검토합니다.

적용 분야
CMP 장비 HEAD용 CARRIER
검토 항목
존별 압력 · 탄성 복원 · 반복 구동 목표 수명
생산 환경
CLASS 10,000 클린룸 · 자동 이물 비전 검사

다양한 산업의 장비에,
정밀한 실링 부품을.

전자·자동차·화학·플랜트까지. 사용 조건과 도면에서 필요한 부품을 검토합니다.

1,300평
용인 사업장
4개
부품군
6종
HAPEX O-RING 등급
5단계
입고부터 출하까지 자체 공정

직접 생산하고,
직접 검사합니다.

원료 입고부터 생산, 검사, 출하까지 자체 설비로 공정을 관리합니다.

CLASS 10,000 클린룸
생산

CLASS 10,000 클린룸

청정한 환경에서 시작하는 생산

8대의 프레스 설비
생산

8대의 프레스 설비

일관된 생산을 위한 제조 기반

세정 · 건조 · 오븐
품질·검사

세정 · 건조 · 오븐

제품 품질을 위한 공정 조건 관리

  1. 01원료 입고
  2. 02제품 생산
  3. 03세정·건조
  4. 04품질 검사
  5. 05최종검사·출하
생산·품질설비 전체 보기

부품을 넘어,
함께 풀어가는 기술 파트너.

  1. 1.

    실링에 집중한 전문성

    MEMBRANE부터 산업용 고무 부품까지, 정밀 실링 분야에 집중한 제품 포트폴리오를 갖추고 있습니다.

  2. 2.

    직접 확인하는 품질

    UTM, 경도계, 3D 측정기와 자동 이물 비전 검사기로 물성·치수·이물을 검사합니다.

  3. 3.

    기술과 생산의 연결

    기술영업, 품질관리, 생산 조직이 요구 사양과 적용 환경을 바탕으로 제작 가능성을 함께 검토합니다.

품질·환경·안전,
관리의 기준을 갖추다.

인증 범위: 반도체 및 일반 산업용 실리콘·고무 제품 제조 · 인증기관: 한국ESG인증원

요구 사양부터 납기까지,
기업 거래를 위한 기술 상담.