작은 부품에 담긴 정밀함.
다양한 산업의 사용 조건에 맞춘 정밀 실링 부품.
네 가지 부품, 하나의 기준.
멤브레인부터 오링, 가스켓, 플렉처까지. 형상은 달라도 재료와 공정, 검사를 같은 기준으로 관리합니다.
- MEMBRANE · CMP HEAD용 멤브레인
- O-RING · HAPEX · 산업용 오링
- GASKET / PACKING · 장비·배관 실링
- FLEXURE · 정밀 장비 부품
개념 도면 · 실제 제품 형상과 다릅니다
네 가지 부품군,
공정에 맞춘 엔지니어링.
형상, 재질, 운용 조건과 검사 기준. 부품별 요구 사양을 함께 검토합니다.
MEMBRANE
멤브레인
공기압을 웨이퍼에 균일하게 전달하는 CMP HEAD의 핵심 소모성 부품입니다.
- 적용 분야
- CMP 장비 HEAD용 CARRIER
- 검토 항목
- 존별 압력 · 탄성 복원 · 반복 구동 목표 수명
HAPCO ORIGINAL MATERIAL BRAND내열성과 내화학성을 위한
HAPCO의 소재 브랜드.
HAPEX는 HAPCO가 직접 배합·생산하는 과불화탄성체 소재의 고유 브랜드입니다. 사용 공정에 맞는 배합과 오링 사양을 함께 검토합니다.
HAPEX 오링 문의HAPEX 적용 가이드
제품 소개자료의 등급별 적용 공정 및 Max. Temp.
| 제품 등급 | Max. Temp. | 적용 공정 | 주요 특성 |
|---|---|---|---|
| HAPEX-300A | 300℃ | HDPCVD · PECVD · SACVD | 산소·불소계 플라즈마 환경의 침식과 입자 발생 관리 |
| HAPEX-300B | 300℃ | HDPCVD · PECVD | NF₃ 플라즈마 환경의 입자 발생 관리 |
| HAPEX-300C | 300℃ | LPCVD · RTP | 가스 배출 및 압축 영구변형 저항 |
| HAPEX-275W | 275℃ | Wet Process | 화학물질 접촉 환경의 내화학성·내열성 |
| HAPEX-320H | 320℃ | Oxidation · Diffusion · MCVD · ALD · LPCVD | 고온 물성 유지 및 압축 영구변형 특성 |
| HAPEX-230C | 230℃ | CVD · RPCVD · APCVD · DCVD | 화학물질 접촉 환경의 물성 유지 |
HAPCO HAPEX O-RING 소개자료 기준. 표기 온도는 모든 운용 조건에서의 연속 사용 보증값이 아닙니다. 실제 적용은 매질·압력·온도·검사 조건과 함께 확인해 주세요.
고무 재질별 특징
재질명을 눌러 온도 범위와 주요 특성, 용도를 확인하세요.
제공된 재질 참고자료를 바탕으로 정리했습니다. 아래 온도는 소재군의 참고 범위이며 HAPCO 개별 제품의 보증 사양이 아닙니다. 배합·사용 유체·압력·노출 시간에 따라 적용 범위가 달라지므로 실제 사양은 별도로 확인해 주세요.
NR천연고무
- 자료상 온도 범위
- −40 ~ 60℃
- 주요 특성
- 기계적 성질이 우수하며 일광·오존·고온 환경의 노화에 주의가 필요합니다.
- 주요 용도
- 타이어, 호스, 벨트, 공기스프링 및 일반 공업용품
NBR니트릴고무
- 자료상 온도 범위
- −40 ~ 110℃
- 주요 특성
- 내유성·내마모성 및 충격 흡수 특성을 갖습니다.
- 주요 용도
- 유공압 장비, 자동차·선박 연료 시스템, 건설장비
HNBR수소화 니트릴고무
- 자료상 온도 범위
- −32 ~ 135℃
- 주요 특성
- 내후성·내오존성과 물리적 강도 및 내마모성이 우수합니다.
- 주요 용도
- 자동차 연료 시스템, 냉매 및 오일 접촉 부품
CR클로로프렌고무
- 자료상 온도 범위
- −45 ~ 120℃
- 주요 특성
- 내후성·내오존성·내열성과 난연 특성을 갖습니다.
- 주요 용도
- 자동차·철도 부품, 냉매 접촉 실링
EPDM에틸렌-프로필렌고무
- 자료상 온도 범위
- −40 ~ 140℃
- 주요 특성
- 내노화성·내오존성과 극성 액체에 대한 저항성을 갖습니다.
- 주요 용도
- 스팀·온수, 자동차 브레이크·냉각 시스템
ACM / ANM아크릴고무
- 자료상 온도 범위
- −10 ~ 160℃
- 주요 특성
- 고온에서의 내유성을 갖습니다.
- 주요 용도
- 자동변속기 및 파워스티어링 오일 접촉 부품
Q실리콘고무
- 자료상 온도 범위
- −95 ~ 260℃
- 주요 특성
- 내열성·내한성이 우수하며 인열·인장·마모 조건을 함께 검토해야 합니다.
- 주요 용도
- 고정용 실링, 고온 또는 저온용 특수 배합 부품
FKM / FPM불소고무
- 자료상 온도 범위
- −45 ~ 250℃
- 주요 특성
- 내열성·내약품성·내유성을 갖습니다.
- 주요 용도
- 자동차 연료 시스템, 고온·고진공 실링
FFKM / FFPM과불소고무
- 자료상 온도 범위
- −35 ~ 340℃
- 주요 특성
- 내열성·내화학성·내플라즈마 특성을 위한 고기능성 소재입니다.
- 주요 용도
- 고온 및 화학약품 접촉 환경의 정밀 실링
눌러보세요. 탄성체는 돌아옵니다.
상판을 아래로 끌어 오링을 압축해 보세요. 손을 떼면 원래 모양으로 복원됩니다. 실링은 이 반발력으로 틈을 막습니다.
일반적인 정적 실링 압축 범위(참고) 15–30%
- 압축률
- 0
- 반력
- 0
- 접촉 폭
- 0
곡선과 수치는 설명을 위한 개념값입니다. 실제 값은 재질·경도·홈 설계에 따라 다릅니다.
균일한 압력 전달.
MEMBRANE의 역할입니다.
CMP HEAD와 WAFER 사이에서 공기압을 전달하는 수동형 부품. 정밀한 표면가공을 지원하는 핵심 구조입니다.
이해를 돕기 위한 개념도이며, 실제 치수·설계 도면이 아닙니다.